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公布日期
2019-03-22 公布专利
2019-03-19 公布专利
2019-03-15 公布专利
2019-03-12 公布专利
2019-03-08 公布专利
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2019-02-22 公布专利
2019-02-19 公布专利
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一种立式扩散炉专用叠加型石英舟有效

申请号: CN201610993859.6 全文下载
申请日: 2016-11-11 公开/公告日: 2019-03-12
公开/公告号: CN106498501B 主分类号: C30B31/14
申请/专利权人: 桂林电子科技大学
发明/设计人: 高鹏;刘阳;罗奕;张应红;孙宁;唐亮;高波;王岩
分类号: C30B31/14;C30B29/06
搜索关键词: 一种 立式 扩散 专用 叠加 石英
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【摘要】:
本发明公开了一种立式扩散炉专用叠加型石英舟,属于石英舟结构技术领域。包括石英舟本体,所述本体上设有用于放置硅片的舟槽,所述本体包括中空的中心筒、支撑板和石英棒,支撑板沿中心筒周向均匀设置在中心筒外侧面上且相对中心筒中心轴线平行;相邻的所述支撑板间设有多根石英棒,所述石英棒间平行设置且对应硅片的下部弧形间隔排列,所述石英棒朝向硅片一侧均匀设置多个刻槽,石英棒间的刻槽一一对应并共同构成所述舟槽,所述舟槽以中心筒轴心线为中心相对呈放射性设置;所述中心筒位于两相邻支撑板之间设置有贯通中心筒内腔的排气口。本发明适合于立式扩散炉,通过改进石英舟结构,舟槽按圆周方向排列设置,最大化利用石英舟空间。
 
【主权项】:
1.一种立式扩散炉专用叠加型石英舟,包括石英舟本体,所述本体上设有用于放置硅片的舟槽,其特征在于:所述本体包括中空的中心筒、支撑板和石英棒,支撑板沿中心筒周向均匀设置在中心筒外侧面上且相对中心筒轴心线平行;相邻的所述支撑板间设有多根石英棒,所述石英棒间平行设置且对应硅片的下部弧形间隔排列,所述石英棒朝向硅片一侧均匀设置多个刻槽,石英棒间的刻槽一一对应并共同构成所述舟槽,所述舟槽以中心筒轴心线为中心相对呈放射性设置;所述中心筒位于两相邻支撑板之间设置有贯通中心筒内腔的排气口。
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